4根据记录结果，以传感器输出电压为纵轴、被测位移为横轴，画出传感器特性图，并指出线性测量范围。

  5重新作3，计录实际位移量，同时按标定曲线计算位移量，进一步计算绝对误差、相对误差、引用误差、精度等级。

  注意：电容传感器的动极板、定极板之间的片间距离必须相等，必要时可稍作调整。位移时不可有擦片现象，否则会造成输出信号的突变，导致粗大误差；如果差动放大器输出端的波形有谐波，需将电容变换器的增益减小。

  图2电容传感器传感特性测试接线装上测微头，带动动极板位移，将动极板调至两个定极板的中间对称位置。此时差动放大器输出为零。

  3以此为起点，旋转测微头，是动极板先相上位移，直至与上面的定极板完全重合；然后向下位移，直至与下面的定极板完全重合。如此反复作数个循环。每位移0.5mm，记录一次位移量、输出电压数据。

  设计以电容传感器作为传感器的振动测量系统，使用该系统测量被测对象的固有振动频率，对该系统被测振幅与输出电信号之间的关系进行标定，利用标定后的测量系统来进行振幅测量并计算绝对误差、相对误差、引用误差、精度等级。

  原实验仪上的所有资源，如电容传感器、电容变换器、低频振荡器、差动放大器、低通滤波器、测微头、电压表等；振幅及频率测量装置；示波器。

  11将电容传感器测量结果与自感传感器、差动变压器、电涡流传感器的测量结果做综合比较。

  电容式传感器有多种结构及形式，本实验仪采用的是差动变面积结构。传感器是由两组定极板和一组动极板组成。当安装在振动台上的动极板发生上、下位移时，两个电容的有效面积发生明显的变化，成为差动电容。设电容式传感器的面积变化量为 ，则电容量变为

  可见，改变面积的电容传感器在理论上为线性传感特性。在本实验仪中，被测位移量与电容有效面积的变化量为比例关系。对差动结构，灵敏度为

  由式（1）能够准确的看出，当被测参数使S、d或 之一发生明显的变化时，电容量C随之变化，于是可将该参数的变化单值地转换为电容量的变化。电容式传感器可分为三种类型：改变极板间距离的变间隙式、改变极板面积的变面积式和改变介质介电常数的变介电常数式。变间隙式电容传感器的特点是灵敏度较高，一般用来测量微小的线位移，但是其传感特性曲线为非线性特性。变面积电容传感器的传感特性曲线为线性特性，但它的灵敏度较低，通常用于测量较大线位移或角位移。类似电涡流传感器在电感式传感器中富有特色，变介电常数电容传感器在电容传感器中最有特色，传感特性曲线为线性特性，常用于与物性参数有关的参数测量，如物位测量、液位测量、湿度测量等。

  8以6、7的测量数据为基础，作出所设计的振动测量系统的标定曲线再更换激振频率、激振幅值，记录测量系统输出的电信号，并依据标定曲线计算被测振幅；同时利用振幅频率测量装置实际测量振幅。

  采用差动结构，将灵敏度提高一倍，同时提高了传感器对温度等共模干扰的抑制能力。将两个电容接入交流电桥，即可将位移量转换为桥路的电压信号输出。

  3以电容传感器、电容变换器、低频振荡器、差动放大器、低通滤波器、测微头、电压表等为基本部件，设计基于电容传感器的振动测量系统。画出电路图，并按图组成系统。经指导教师认可后，方可通电。

  4调整振动测量系统的零点。电压/频率表调至2KHZ档，接低频输出端，适当调节低频振荡器振幅，使差动放大器输出波形较大但不失真。用示波器、电压表观察输出信号。

  5维持低频振荡器输出幅值不变，改变低频振荡器的频率，从5HZ逐渐增加到30HZ，记录测量系统输出的电信号幅值，利用振幅及频率测量装置测量振幅、振动频率。最高电信号幅值所对应的振动频率就是被测对象的固有频率。

  6在低于固有频率的范围内任选一个激振频率，并维持不变。先是从低到高、而后从高到低调整激振幅值，记录输出电信号、并用振幅及频率测量装置测量振幅。如此反复测量几个循环。