国机集团所属沈阳外表院承当的沈阳市高新技能工业高质量开展计划项目“高性能硅电容压力传感器”近来顺畅经过检验。

  该项目运用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技能，在硅电容传感器规划、制作工艺技能、传感器封装结构等方面具有立异性，处理了硅电容传感器研发的工艺技能难题，开发研发出彻底具有自主知识产权的新式高性能硅电容差压传感器产品，产品精度优于0.075%FS，技能水平到达国内抢先、世界一流。

  项目建成了年出产能力一万台的硅电容差压传感器出产线，完成了产品的系列化出产，并初次完成智能变送器产品中心传感器的国产化配套，打破了国外的技能封闭，填补了国内空白。一起，作为上游中心器材，该项研讨带动了传感器、变送器及相关外表工业的开展，处理了有表无芯的问题，有用地支撑了高端配备制作工业链建造。