平行板型电容式压力传感器是最常见的类型之一，由两个平行板组成，其中一个板固定，另一个板可移动。在压力的作用下，可移动板产生位移，导致两板之间的距离发生明显的变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是结构相对比较简单、易于制造、线性度好、动态响应快、稳定性高等。但它的缺点是灵敏度较低，要增加极片数来提升灵敏度，同时也容易受到温度和湿度的影响。电容弯曲型压力传感器是由上下两层薄膜组成，中间是空气或其它气体。当受到压力作用时，上下两层薄膜发生弯曲变形，导致两层薄膜之间的距离发生明显的变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度较高、测量范围广、过载能力强、温度稳定性高等。但它的缺点是结构较为复杂、制造难度大、需要高精度控制。变面积型电容式压力传感器是由一个固定极板和一个可移动极板组成，可移动极板的面积小于固定极板。在压力的作用下，可移动极板产生位移，导致两极板之间的面积发生明显的变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度较高、线性度好、温度稳定性高等。但它的缺点是结构较为复杂、制造难度大、需要高精度控制。变间隙型电容式压力传感器是由两个平行板组成，其中一个板可移动。在压力的作用下，可移动板产生位移，导致两板之间的距离发生明显的变化，从而改变电容量。这种传感器的优点是灵敏度较高、动态响应快、测量范围广等。但它的缺点是线性度差、容易受到温度和湿度的影响、稳定性差等。