MEMS技术是一种制造技术，MEMS技术把电子和机械特性结合了起来，可以同时执行物理、化学、生物等方面的功能，因为它能同时发生化学反应和电作用。它实质上是终极的片上系统，是科学和技术的终极融合，而且生物也可以与之兼容。

  半导体改变电阻率的方式有三种，原位掺杂、扩散和离子注入，这三种方式分别过程如何，有何区别呢？

  本文介绍了一种测量MEMS梳状驱动器动、静态电容的方法。采用了的峰值检测的新方法对调制信号进行解调，提高了动态电容的精度。

  工艺平台涵盖超高压、车载、先进工业控制和消费类功率器件及模组，以及车载、工业、消费类传感器，应用领域覆盖智能电网、新能源汽车、风力发电、光伏储能、消费电...

  随着系统复杂度的逐步的提升，传统封装技术已不能够满足多芯片、多器件的高性能互联。

  随着全球新能源的发展，功率半导体行业正在加快速度进行发展。IGBT功率模块在封装焊接时有着低空洞率、高可靠性、消除氧化、高效生产等需求

  超声换能器（Ultrasonic Transducer，UT）是指在超声波频率范围内实现声能与电能相互转换的器件，根据换能工作状态大致上可以分为三种类型：发射...

  NSPGM2系列基于硅压阻效应，使用先进的MEMS微加工工艺设计制造，通过汽车级信号调理芯片对贵金属MEMS芯体输出进行校准和补偿，能将0～±5kPa/...

  得益于日益成熟的技术，MEMS传感器在各类电子科技类产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术是比较陌生的。

  三维成像技术具有强大的精细化空间数据描述能力，在消费电子、无人驾驶、机器视觉和虚拟现实等领域已成为最关键的传感技术之一。

  随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展，体积更小，功能更多，集成度更高的MEMS器件慢慢的变成了新的发展趋势和研究热点。

  近期，泰晶科技一款采用光刻微纳米加工技术的TF206音叉晶体谐振器完成产品设计，并通过高精度RTC应用的客户认证，实现量产。

  据麦姆斯咨询报道，近期，MEMS技术领域的全球领导者Sheba Microsystems宣布推出一款革命性的MEMS自动对焦执行器新品，用于嵌入式视觉相...

  微机械超声换能器（MUT）是利用MEMS技术制备的一种新型超声换能器。其中，压电式微机械超声换能器（PMUT）被大范围的应用于超声成像系统。

  传感器被誉为机器人的“眼睛”和“神经”，通过识别自身的运动与环境状态来保证灵敏度的提高。

  长期以来，鹿科动物受到一种神经系统疾病的侵袭，这种疾病对个体来说致死率高达100%，并且具有群体效应。

  固态激光雷达通常分为哪三种类型？mems固态激光雷达  固态激光雷达是一种基于激光技术的高精度测量仪器，它利用激光器发射激光束，并通过接收器接收反射回来...

  触觉传感器作为机器触觉必不可少的一部分，可将外界环境状态转变为可被测量的电信号，达到压力测试、温湿度感知及材质预测等目的，实现与人类皮肤相似的效果。

  压电MEMS扬声器厂商USound获得1000万欧元投资助力音频产品开发

  据麦姆斯咨询报道，为可穿戴和耳戴式设备开发MEMS扬声器的创新开发商USound近日宣布获得1000万欧元投资，以支持各种真无线立体声（TWS）耳机和非...